一般情況下，晶片制造沸石轉(zhuǎn)輪的再生溫度為180-200℃，在此溫度下，高沸點(diǎn)的二甘醇胺等物質(zhì)不能有效地從沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)脫附，然后逐步積累在滾筒內(nèi)。

通過(guò)對(duì)沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)高沸點(diǎn)物質(zhì)集合情況的研討，發(fā)現(xiàn)在沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)運(yùn)行1個(gè)月后，滾筒內(nèi)的確存在較大數(shù)量的有機(jī)物集合，其集合量約為6wt%。經(jīng)有效高溫脫附后，有機(jī)物質(zhì)的積累量可削減40%~60%左右。結(jié)果表明，高溫脫附能較好地去除沸石轉(zhuǎn)輪中高沸點(diǎn)有機(jī)物。

假如高溫脫附溫度挑選過(guò)高，則會(huì)對(duì)沸石分子篩的骨架結(jié)構(gòu)構(gòu)成一定影響，然后影響分子篩的使用壽命。主張選用300℃左右高溫脫附，且相應(yīng)的沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部配件均需選用可耐300℃高溫的密封配件。

晶片制造工業(yè)中常用的有機(jī)資料一般都有很好的水溶性，可以用水洗再生的辦法去除沸石轉(zhuǎn)輪中集合的高沸物。
水洗再生能有效地提高沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)的管理功率，對(duì)工廠而言，水洗再生次數(shù)達(dá)到4~6次/年時(shí)，管理功率可達(dá)95%~99%。所以，恰當(dāng)增加定期水洗再生頻率，可以有效地防止沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)高沸點(diǎn)物質(zhì)的集合，堅(jiān)持高管理功率。
分子篩在陶瓷纖維紙外表涂布，通常是用無(wú)機(jī)粘結(jié)劑來(lái)制造沸石轉(zhuǎn)輪，因而當(dāng)水洗時(shí)，不只沸石分子篩不會(huì)出現(xiàn)龜裂變形，而且也不會(huì)出現(xiàn)因分子篩掉落而構(gòu)成的功能下降，使用壽命縮短等問(wèn)題。

但水洗時(shí)要注意水質(zhì)情況，假如水中含有很多的鈣、鎂等離子，就會(huì)在沸石內(nèi)部構(gòu)成碳酸鹽，阻塞了沸石轉(zhuǎn)輪中的蜂窩狀孔道；水中微量重金屬物質(zhì)、氯等也會(huì)對(duì)沸石構(gòu)成毒化。

需要指出的是，并非所有沸石轉(zhuǎn)輪資料都耐水洗，企業(yè)在水洗再生前，應(yīng)向沸石轉(zhuǎn)輪設(shè)備制造商做好相關(guān)咨詢工作。

各企業(yè)在停機(jī)檢修理期間，選用高壓空氣吹掃沸石轉(zhuǎn)輪。但由于VOCs有機(jī)物通常吸附在分子篩孔洞內(nèi)，不能被有效地去除，需要選用高壓空氣吹掃來(lái)清除沸石轉(zhuǎn)輪外表附著的塵埃，并應(yīng)與上述處理辦法配合使用。